單質靶材：鉍（Bi）靶材，碲（Te）靶材，鋯（Zr）靶材，鎘（Cd）靶材，鉿（Hf）靶材，硫（S）靶材，鋁（Al）靶材，錳（Mn）靶材，鉬（Mo）靶材，鈮（Nb）靶材，鎳（Ni）靶材，銣（Rb）靶材，鈦（Ti）靶材，銻（Sb）靶材，銅（Cu）靶材，銦（In）靶材，硒（Se）靶材等
合金靶材：銅銦（CuIn）靶材，銅鎵（CuGa）靶材，銅鋅（CuZn）靶材，銅鎵銦（CuGaIn）靶材;銅銦鎵硒（CuInGaSe）靶材，鉍碲硒（BiTeSe）靶材，鉍銻碲（BiSbTe）靶材，鍺銻碲（GeSbTe）靶材，
碲化物靶材：碲化鉍（Bi2Te3）靶材，碲化銻（Sb2Te3）靶材，碲化鋅（ZnTe）靶材，碲化銅（CuTe）靶材，碲化鉛（PbTe）靶材，碲化銦（InTe）靶材，碲化鎘（CdTe）靶材等
單質靶材：鉍（Bi）靶材，碲（Te）靶材，鋯（Zr）靶材，鎘（Cd）靶材，鉿（Hf）靶材，硫（S）靶材，鋁（Al）靶材，錳（Mn）靶材，鉬（Mo）靶材，鈮（Nb）靶材，鎳（Ni）靶材，銣（Rb）靶材，鈦（Ti）靶材，銻（Sb）靶材，銅（Cu）靶材，銦（In）靶材，硒（Se）靶材等
合金靶材：銅銦（CuIn）靶材，銅鎵（CuGa）靶材，銅鋅（CuZn）靶材，銅鎵銦（CuGaIn）靶材;銅銦鎵硒（CuInGaSe）靶材，鉍碲硒（BiTeSe）靶材，鉍銻碲（BiSbTe）靶材，鍺銻碲（GeSbTe）靶材，
碲化物靶材：碲化鉍（Bi2Te3）靶材，碲化銻（Sb2Te3）靶材，碲化鋅（ZnTe）靶材，碲化銅（CuTe）靶材，碲化鉛（PbTe）靶材，碲化銦（InTe）靶材，碲化鎘（CdTe）靶材等
硒化物靶材：硒化鉍（Bi2Se3）靶材，硒化銻（Sb2Se3）靶材，硒化銅（CuSe）靶材，硒化鉛（PbSe）靶材等
銻化物靶材：銻化銦（InSb）靶材，銻化鎘（CdSb）靶材，銻化鋅（Zn4Sb3）靶材等
硫化物靶材：硫化鋅（ZnS）靶材，硫化銦（In2S3）靶材，硫化鎘（CdS）靶材，硫化鉍（Bi2S3）靶材，硫化鎵（Ga2S3）靶材，硫化銅（CuS2）靶材等
氧化物靶材：氧化鋅（ZnO）靶材，氧化鎵（Ga2O3）靶材，氧化銦（In2O3）靶材，氧化鋁（Al2O3）靶材等
氮化物靶材：氮化銦（InN）靶材，氮化鎵（GaN）靶材
